在线粒子计数器是半导体、制药、生物安全及制造领域实现洁净室环境或工艺流体中颗粒物实时监控的关键设备,可连续检测0.1–10μm范围内悬浮粒子的浓度与粒径分布,满足ISO14644、GMP等严苛标准。
在线粒子计数器高可靠性依赖于光学、流体、电子与软件系统的精密集成,每一核心部件均体现光准、流稳、数真、联智的现代洁净监测理念。

一、高灵敏度光学传感系统
激光二极管光源(650nm或405nm):
光束经准直后照射采样气流,确保微小粒子产生可测散射信号;
聚焦光敏探测器:
高信噪比捕捉单颗粒散射光脉冲,分辨率达0.1μm;
鞘流技术(部分液用型号):
样品流被洁净鞘液包裹,防止粒子沉积在光学窗口,保障长期稳定性。
二、精密采样与流量控制模块
恒流采样泵(28.3L/min或1.0CFM标准流量):
内置闭环反馈控制,流量波动≤±5%,确保数据可比性;
等速采样探头:
在风管中保持与主流速度一致,避免大颗粒因惯性损失;
自清洁反吹阀(可选):
定期清除进气口积尘,适用于高粉尘边缘环境。
三、智能数据处理与通信单元
多通道脉冲高度分析器:
将散射光强度转换为粒径档位(如≥0.3、0.5、1.0、5.0μm),支持6通道同步计数;
嵌入式处理器+实时操作系统:
每秒处理数千颗粒事件,计算每立方米粒子浓度;
工业级通信接口:
支持ModbusTCP、BACnet、4–20mA或以太网,无缝接入楼宇自控(BAS)、SCADA或环境监测系统(EMS)。
四、结构与防护设计
316L不锈钢或阳极氧化铝外壳:
IP65防护等级,耐受CIP/SIP清洗及洁净室消毒剂腐蚀;
无菌快接接口(液用型):
符合ASMEBPE标准,避免死角滋生微生物;
状态自诊断功能:
实时监测激光功率、流量异常、传感器污染,提前预警维护需求。